根據總施加載荷的大小：　　宏觀硬度（日本、美國和前蘇聯等定為10N以上，歐共體國家和機構則定為2N以上）　　顯微硬度（上限：10N或2N；下限：10mN左右）　　納米硬度（一般在700mN以下，有的生產商為了便于研究者模擬顯微硬度，配有10N載荷附件。）　　宏觀硬度和顯微硬度適用于較大尺寸的試樣，僅能得到材料的塑性性質，隨著現代材料表面工程（氣相沉積、濺射、離子注入、高能束表面改性、熱噴涂等）、微電子、集成微光機電系統、生物和醫學材料的發展、試樣本身活表面改性層厚度越來越小，人們在設計時不僅要了解材料的塑性性質，更需要掌握材料的彈性性質。傳統的硬度測量已無法滿足新材料研究的需要，納米硬度技術應運而生。　　計有兩種壓痕硬度和劃痕硬度兩種工作模式，它是一種檢測材料微小體積內力學性能的先進測試儀器。由于壓痕或劃痕深度一般控制在微米甚至納米尺度，該儀器是進行電子薄膜、各類涂層、材料表面及其該改性的力學性能檢測的理想手段。它不需要將表層從基體上剝離，可以直接給出材料表層力學性質的空間分布，例如，能檢測出焊點及其附近材料的力學性質。由于試樣準備簡單，即使材料達到可以用其他宏觀方法檢測，該方法仍然是一種可以選擇的方法。　　又名：壓痕儀/硬度計/顯微鏡硬度計/超顯微硬度計/動態超顯微硬度計/計/納米壓痕儀等,是一種用于表征各種涂層、薄膜的機械性能、產品品質，包括硬度、彈性模量和斷裂韌性等，表征的材料幾乎包括所有類型的材料：柔軟、硬質、脆性或延展性材料。　　應用領域：　　1）半導體技術：保護層、金屬層等　　2）數據存儲：磁盤保護涂層、圓盤基底上的磁性涂層、CD上的保護涂層等　　3）光學元件：隱形眼鏡、光學抗劃涂層、接觸棱鏡　　4）裝飾涂層：蒸發金屬涂層　　5）抗磨損涂層：TiN、TiC、DLC、刀具、模具、手機外殼等 6）藥理學：藥片和藥丸、植入器官、生物組織 7）汽車：油漆和聚合物、清漆和修飾、玻璃窗、剎車片 8）一般工程技術應用：抗耐性橡膠、觸摸屏、潤滑劑和潤滑油、滑動軸承、自潤滑系統　　9）MEMS微電子領域等