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想要高效運行離子減薄儀,不懂這些可不行

點擊次數(shù):962 更新時間:2021-11-03
  離子減薄儀有著較快的制樣速度。可以以較小的耗費將高質(zhì)量的TEM樣品制備出來。該儀器可以快捷方便地進行操作,低能量離子槍功能為其所配備,對能量敏感性樣品的減薄特別適合。液氮冷臺為其所配備,對溫度敏感性樣品的減薄特別適合。陶瓷、半導(dǎo)體、金屬和合金等多種材料的透射電子顯微鏡( TEM)樣品的制備為該儀器的主要用途。
 
  離子減薄儀的使用注意事項:
 
  一、日常關(guān)機
 
  平常結(jié)束使用之后沒有必要關(guān)機
 
  二、停電關(guān)機
 
  1、對氬氣鋼瓶關(guān)緊與否進行確認。
 
  2、將總電源關(guān)掉。
 
  三、復(fù)電開機
 
  1、將氬氣鋼瓶打開
 
  2、將總電源打開
 
  3、對離子槍進行吹掃,從而將離子槍表面水氣去除,防止由于空氣污染導(dǎo)致離子槍不穩(wěn)定,當(dāng)室內(nèi)壓力比5-3e帕要低時,將兩個氣閥開關(guān)打開,凈化15分鐘,當(dāng)離子槍束流值在在5KeV,比8μA低時能夠停止。
 
  4、必須要等到真空度達到5-4e帕才能夠進行正常的工作。
 
  5、當(dāng)將離子槍拆下又重新裝回需要對離子槍束流和離子束位置進行調(diào)整
 
  離子減薄儀的技術(shù)指標:
 
  1、樣品臺傾斜范圍:-120到210度,精度為0.1度
 
  2、SEM平面研磨臺:zui大φ25毫米×12毫米,TEM和FIB樣品臺:φ3毫米。
 
  3、能夠設(shè)定終止加工透光量閾值來使遠程控制得以實現(xiàn)。
 
  4、冷凍系統(tǒng)使制樣過程溫度不超過25攝氏度得到保證。
 
  5、獨立雙氬離子源,能夠傾斜±45度。
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