淺析離子減薄儀是如何工作的

點擊次數：3075 更新時間：2017-10-13

離子減薄儀原理

離子減薄儀該設備由小角度樣品旋轉系統、高真空系統、高壓電源系統、快速氣動換樣系統以及高能聚焦離子槍等主要部分組成。設備外觀美觀、操作方便，可靠性好，是從事材料科學研究所*的關鍵設備。

1.小角度樣品旋轉系統

作為離子減薄儀的核心部分，因其結構設計合理、精巧實用，獲得了國家。其特點：

(1) 樣品臺旋轉穩定，對離子束無遮擋

該裝置采用了齒輪傳動方式，用傳動齒輪帶動主齒輪轉動，從而使安置在主齒輪上的樣品平穩轉動。該裝置避免了國內外同類產品中三柱式樣品臺旋轉系統及軸承傳動旋轉系統的缺點，使樣品臺不會在旋轉減薄過程中遮擋離子束(Ion beam)，以及樣品旋轉不穩定而導致樣品薄區表面不均勻等問題。同時，該裝置還解決了因離子束撞擊樣品臺而污染真空室的問題。

(2) 離子束掠射角小，樣品薄區大

該系統采取了超薄型樣品臺設計，使樣品與離子束之間的掠射角同時減小到zui小角度(僅為1.5°)，因而被減薄樣品的薄區范圍比同類產品所減薄樣品的薄區明顯增大，這也是該系統的主要特點之一。

(3) 系統結構緊湊，樣品減薄速度高

在離子槍的結構上克服了目前同類產品的結構缺陷,調近了離子槍與樣品的距離，達到了節約能源、提高減薄速度的效果。

(4) 樣品臺導熱性能好

在樣品減薄過程中,由于高能離子束的沖擊作用，樣品的溫度會有所升高，針對這一問題，樣品臺采用特制導熱性能良好的材料，從而降低了樣品的溫升，這樣保證了樣品在減薄過程中不會發生相變。

2.高真空系統

由于系統結構緊湊、小巧，使真空室體積大大縮小，提高了系統抽真空的速度及真空度，為減薄樣品創造了有利條件。

3.高壓電源系統

系統采用國外進口元器件，性能優良，安全可靠，使用壽命長。電源高壓穩定，電壓可隨意調節，并實現了高壓故障自動保護。

4.快速氣動換樣系統

為了減少因更換樣品而影響樣品減薄時間及系統抽真空時間，特別設計了快速氣動換樣系統，實現了在不影響系統真空的條件下，快速更換樣品的目的。